浙江維修英�？�Modul1000檢漏儀常見故障維修公司
檢漏儀檢測開始時(shí)出現(xiàn)的故障
1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒有啟動(dòng)或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。
2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時(shí)氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號(hào)，而不接受遙控器信號(hào)，檢漏鍵無效。
氦質(zhì)譜檢漏儀自動(dòng)校準(zhǔn)結(jié)束時(shí)出現(xiàn)的故障
自動(dòng)校準(zhǔn)失敗(燈絲亮)紅色校準(zhǔn)燈亮。首先檢查自動(dòng)校準(zhǔn)設(shè)置，開關(guān)S1是否處于OFF位置，所設(shè)置的漏率值和標(biāo)準(zhǔn)漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質(zhì)譜室(如果用外部校準(zhǔn)漏孔檢查顯示值和實(shí)際值一致，氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用)。
檢漏儀檢漏時(shí)出現(xiàn)的故障
1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。
2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時(shí)再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。
3、氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題，如果有多臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風(fēng)不好時(shí)，致使氦氣擴(kuò)散慢，也會(huì)導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。
4、工裝設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致檢漏通不過。初檢時(shí)工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過;加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因?yàn)楣ぱb設(shè)計(jì)不合理所致，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)表面太粗糙，導(dǎo)致過多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計(jì)人員對(duì)專業(yè)真空設(shè)計(jì)不熟悉)。
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